电子探针微区分析仪配有场发射电子枪和能谱仪，可用于材料微观形貌和成分分析，得到高分辨二次电子像、高分辨背散射电子像以及吸收电子像、X-Ray像，同时对杂质元素进行准确定量分析，元素分析范围广（铍(Be)——铀(U)）。同时具有不损坏试样、分析速度快的特点。是冶金和材料研究中不可缺少的重要手段，在冶金和材料的科学研究中得到极其广泛的应用。

JXA-8530F Plus  电子探针微区分析仪主要特点:

1） 图像质量明显提高：图像分辨率的提高保证分析定位更加精确。

2） 图像性噪比大大增强：场发射探针提供的光源电流密度是钨灯丝的1000倍，是六硼化镧灯丝的100倍，激发的信号多，图像质量细腻清晰。

3） 分析效率大大提高：场发射电流密度增加，分析速度提高约一个数量级以上。

4） 分析能力增强：场发射探针可以在低加速电压下保持很高的电流密度，传统的电子探针最低只能降到15kV左右。场发射探针可以降到7kV以下，对轻元素的分析能力明显提高。

5） 空间分辨率明显提高：场发射探针可以比传统电子探针提供最小到1/10的束斑，低电压保证x射线穿透能力减弱。空间分析能力有质的区别。

6） 分子泵配置，避免由于传统的扩散泵系统对镜筒造成的污染，不会影响对轻元素的分析结果。

7） 配置电制冷能谱仪，可以同时分析32种元素。

8） 两种罗兰圆设计，兼顾灵敏度与分析精度。

9） 分光晶体的自动交换：晶体可在谱仪扫描区间任何位置交换，交换后无需调整，分析效率极高。

10） 晶体覆盖面积宽，3道谱既可覆盖全元素，对用户关注的特定元素， 可安排独立的第四道和第五道谱仪进行测试。

仪器设备性能参数：

主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。其镜筒部分构造和SEM相同，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。EPMA在试样中的B/C/N/O的微区分析，灵敏度高，确保定量分析的准确性

仪器设备功能用途：

电子探针微区分析仪可以实现如下功能：（1）定点分析：用波谱能需求描述：仪分析即可得到分析点的谱线；用能谱仪分析即可得到微区内全部元素的谱线。（2）线分析：可得到这一元素沿直线的浓度分布情况（3）面分布：获得元素在微区域上的分布情况。（4）形貌表征，结合场发射获得高清形貌照片。

放置房间冶金楼105-2   责任教师：于春梅